万博体育手机官网登录_官网|welcome!

产品展示

    NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

      特长
      NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
      低噪音、低振动
      优良的耐腐蚀性
      标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
      选购件
      可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。

      用途
      •  活性气体(CVD、刻蚀等)。
      •  排出非活性气体(溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。
      •  用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)
      •  作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。
      •  冷冻干燥等水蒸气排气。
技术参数
外形尺寸图
抽气速率曲线
    样本下载


* 1  极限压力是氮气(密封气体)在5.0 SLM时的值。
* 2  无结露。
* 3  用调节阀所调整的压力表的值。
* 4  氮气(密封气体)流量5.0 SLM是固定值。